发布时间:2024-06-22浏览次数:1507
主要研究领域:后摩尔新型硅基场效应晶体管,集成电路制造,计算机工艺及器件模拟。
1)可重构场效应晶体管;
2)改进电子束蒸发,提高剥离成形良率及器件质量;
3)湿法刻蚀制备三角形截面(具有原子级平整度)的硅纳米线;
4)水平集方法模拟高温氢气环境下硅结构的形貌变化;
5)非平衡格林函数研究晶体管中载流子的输运性质。
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